2026年5月28日，半导体设备ETF华夏（562590.SH）收涨1.39%，主力资金（单笔成交额100万元以上）净流入3078.39万元，居全市场第一梯队。（数据来源：Wind）

       与此同时，该基金最新成交量为1.63亿份，最新成交额达4.36亿元，居股票型ETF基金第一梯队。

       半导体设备ETF华夏（562590.SH），场外联接(A类：020356；C类：020357）。